集成電路與等離子體裝備

定　價：￥168.00

作　者：	趙晉榮等
出版社：	科學出版社
叢編項：
標　簽：	暫缺

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ISBN：	9787030775467	出版時間：	2024-06-01	包裝：	精裝
開本：	16開	頁數(shù)：		字數(shù)：

內(nèi)容簡介

　　全書主要介紹了集成電路中與等離子體設(shè)備相關(guān)的內(nèi)容，具體包括集成電路簡史、分類和發(fā)展方向以及面臨的挑戰(zhàn)，氣體放電的基本原理和典型應(yīng)用、等離子體刻蝕工藝與設(shè)備、等離子體表面處理技術(shù)與設(shè)備、物理氣相沉積設(shè)備與工藝、等離子體增強化學氣相沉積工藝與設(shè)備、高密度等離子體化學氣相沉積工藝與設(shè)備、爐管設(shè)備與工藝等。