氣體與濕度傳感器MEMS技術及應用

定　價：￥148.00

作　者：	汪飛，劉歡，等著;
出版社：	國防工業(yè)出版社
叢編項：	傳感器與MEMS技術叢書
標　簽：	暫缺

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ISBN：	9787118134032	出版時間：	2025-05-01	包裝：	平裝-膠訂
開本：	16開	頁數：		字數：

內容簡介

　　本書擬重點講述氣體和濕度傳感器設計制作的基本原理、方法及其應用從氣體和濕度傳感器的器件結構、材料、制作工藝等方面展開，分析介紹了典型傳感器件和材料的表征技術與主要性能參數，并結合國內外前沿研究動態(tài)提出本領域的發(fā)展趨勢。全書將氣體和濕度傳感技術分為三個方面：基礎原理（第1章~第3章）、器件分類（第4章~第9章）以及傳感器微系統的應用（第10章）。本書首先闡述了氣體和濕度傳感器的基本概念，包括工作原理與結構、主要性能參數、機理研究方法等：結合前沿研究進展介紹了氣體和濕度敏感材料的合成方法與表征技術，以及不同納米結構的敏感效應：從表面加工工藝與體硅加工工藝兩方面介紹了氣體和濕度傳感器的關鍵 MEMS 工藝：在此基礎上分類介紹了多種氣體傳感器包括半導體原理、電化學原理、光學原理等以及濕度傳感器，針對每種器件從基礎原理、結構特點、工藝與性能參數等方面展開詳細介紹：最后結合國防應用特點，列舉了氣體和濕度傳感器在航空航天、地面武裝及海洋裝備等領域的應用實例。本書可作為應用物理、微電子、電子信息、化學、材料科學、環(huán)境科學等領域大學本科生及研究生教材，也可供在氣體和濕度傳感器領域工作的研究人員參考。

作者簡介

暫缺《氣體與濕度傳感器MEMS技術及應用》作者簡介

圖書目錄

第 1 章氣體和濕度傳感器的基本概念
1.1 氣體和濕度傳感器的發(fā)展歷程
1.1.1 氣體傳感器技術的發(fā)展狀況
1.1.2 濕度傳感器技術的發(fā)展狀況
1.2 氣體傳感器原理及分類
1.2.1 氣體傳感器的基本概念
1.2.2 氣體傳感器的工作原理與結構
1.2.3 氣體傳感器的主要性能參數
1.3 濕度傳感器的原理與分類
1.3.1 濕度傳感器的基本概念
1.3.2 濕度傳感器的工作原理與結構
1.3.3 濕度傳感器的主要性能參數
1.4 氣體與濕度傳感器機理的研究方法
1.4.1 性能測試分析
1.4.2 理論計算與仿真
1.4.3 原位表征技術
1.5 氣體與濕度傳感器的發(fā)展展望
參考文獻
第 2 章氣體和濕度敏感材料
2.1 納米材料的合成方法
2.1.1 氣相法合成納米材料
2.1.2 液相法合成納米材料
2.1.3 固相法合成納米材料
2.1.4 其他合成方法
2.2 納米材料的表征技術
2.2.1 納米材料的形貌表征
2.2.2 納米材料的結構與組分表征
2.2.3 納米材料的性能表征
2.3 納米復合材料的合成與表征技術
2.3.1 無機納米復合材料
2.3.2 聚合物納米復合材料
2.3.3 有機 / 無機納米復合材料
2.3.4 貴金屬修飾納米復合材料
2.4 納米材料的傳感效應
2.4.1 納米顆粒的敏感效應
2.4.2 納米線的敏感效應
2.4.3 二維納米材料的敏感效應
2.4.4 納米復合材料的敏感效應
2.5 小結
參考文獻
第 3 章 MEMS 氣體和濕度傳感器的制造工藝
3.1 表面 MEMS 工藝
3.1.1 薄膜沉積與生長工藝
3.1.2 圖形化工藝
3.1.3 刻蝕工藝
3.2 體硅 MEMS 工藝
3.2.1 體硅濕法腐蝕
3.2.2 深硅離子刻蝕
3.2.3 其他體的加工工藝
3.3 基于 MEMS 的氣體傳感器的制造工藝
3.3.1 硅基 MEMS 化學氣體傳感器的結構
3.3.2 材料選擇及設計
3.3.3 案例分析
3.4 小結
參考文獻
第 4 章半導體氣體傳感器
4.1 半導體氣體傳感器的分類
4.1.1 電阻式氣體傳感器
4.1.2 非電阻式氣體傳感器
4.2 半導體氣體傳感器的原理
4.2.1 表面控制型
4.2.2 體控制型
4.2.3 半導體氣敏材料的增敏機理
4.3 半導體氣體傳感器的制作與測量
4.3.1 經典結構半導體氣體傳感器
4.3.2 MEMS 半導體氣體傳感器
4.4 半導體氣體傳感器的應用
參考文獻
第 5 章電化學氣體傳感器
5.1 電化學氣體傳感器的理論基礎
5.1.1 電極電勢
5.1.2 雙電層
5.1.3 電化學熱力學
5.1.4 電極過程動力學
5.2 電化學氣體傳感器的工作原理及分類
5.2.1 氣體傳感器的電化學反應過程
5.2.2 電化學氣體傳感器的反應特點
5.2.3 燃料電池型氣體傳感器
5.2.4 伽伐尼型氣體傳感器
5.2.5 定電位電解型氣體傳感器
5.3 電化學氣體傳感器的結構與特點
5.3.1 殼體
5.3.2 擴散層
5.3.3 電極
5.3.4 電解質
5.4 電化學傳感器的制作工藝與性能
5.4.1 電化學氣體傳感器的制作工藝
5.4.2 傳感器的性能
5.5 電化學氣體傳感器的應用
5.5.1 工業(yè)領域
5.5.2 民生安全健康領域
5.5.3 醫(yī)療領域
5.5.4 飲酒檢測領域
第 6 章固體電化學氣濕敏傳感器
6.1 固態(tài)電化學氣濕敏傳感器的分類與工作原理
6.1.1 根據工作模式分類
6.1.2 根據電解質分類
6.1.3 固態(tài)電化學氣濕敏傳感器的工作特性
6.2 固態(tài)電化學氣濕敏傳感器的常規(guī)制備工藝和表征技術
6.2.1 常規(guī)制備工藝
6.2.2 表征技術：極化曲線和阻抗譜
6.3 固態(tài)電化學氣濕敏傳感器的應用
6.3.1 汽車尾氣檢測
6.3.2 濕度檢測
6.3.3 氫氣檢測
6.3.4 VOC 檢測
6.4 固態(tài)電化學傳感器的新興技術
6.4.1 新型參比電極：錳系和全封閉式
6.4.2 新型傳感器結構：變頻式
6.4.3 光耦合電化學傳感技術
參考文獻
第 7 章光學氣體傳感器
7.1 光學氣體傳感器概述
7.2 光學吸收型氣體傳感器
7.2.1 NDIR 氣體傳感器
7.2.2 TDLAS 氣體傳感器
7.2.3 光纖氣體傳感器
7.2.4 光聲光譜式氣體傳感器
7.3 光學氣體傳感器的應用
參考文獻
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