納米多孔GaN基薄膜的制備及其特性研究

目錄“博士后文庫”序言前言第1章 緒論 11.1 GaN的材料特性 11.2 GaN材料的應用背景 31.3 GaN單晶薄膜的研究現狀 61.4 納米多孔GaN單晶薄膜的研究現狀 7第2章 實驗設備和測試方法 112.1 實驗設備 112.1.1 有機金屬化學氣相沉積系統(tǒng) 112.1.2 電化學刻蝕系統(tǒng) 122.2 測試方法 132.2.1 表面形貌測試方法 132.2.2 晶體結構測試方法 152.2.3 物質成分測試方法 162.2.4 光學特性測試方法 182.2.5 力學特性測試方法 212.2.6 電學特性測試方法 222.2.7 其他測試方法 25第3章 GaN薄膜在預刻蝕階段的電化學刻蝕機理 273.1 實驗部分 283.2 結果和討論 283.3 本章小結 34第4章 納米多孔GaN薄膜的光催化特性 354.1 實驗部分354.1.1 納米多孔GaN薄膜的制備 354.1.2 光催化測試 364.2 結果和討論364.2.1 納米多孔GaN薄膜的表征 364.2.2 納米多孔GaN薄膜的光催化活性384.2.3 納米多孔GaN薄膜和多孔Si的光催化活性的對比 404.3 本章小結 43第5章 納米多孔GaN薄膜的光電化學特性 445.1 實驗部分 445.1.1 GaN單晶薄膜的制備 445.1.2 納米多孔GaN薄膜的制備 445.1.3 測試和表征 455.2 結果和討論 455.3 本章小結 52第6章 納米多孔GaN基MQW的制備及其光電化學特性 536.1 實驗部分 536.2 結果和討論 546.2.1 納米多孔GaN基MQW的制備和表征546.2.2 剝離的納米多孔GaN基MQW的制備和表征 586.2.3 納米多孔GaN基MQW的光電化學特性 616.3 本章小結 64第7章 納米多孔GaN基LED的制備及特性 667.1 實驗部分 667.2 結果和討論 677.3 本章小結 71第8章 具有分布布拉格反射鏡的GaN基LED制備及特性 728.1 實驗部分 738.1.1 GaN薄膜的外延生長 738.1.2 片尺寸納米多孔GaN DBR的制備 738.1.3 LED 結構的外延生長 738.1.4 測試與表征 748.2 結果和討論 748.3 本章小結 81第9章 具有GaN/納米空腔的InGaN基LED的制備及特性 829.1 實驗部分 829.1.1 GaN薄膜的外延生長 829.1.2 片尺寸多層納米多孔GaN結構的制備 839.1.3 LED結構的外延生長 839.1.4 測試與表征 849.2 結果和討論 849.3 本章小結 89第10章 具有中孔GaN分布布拉格反射鏡的InGaN/GaN光陽極的制備及其光電化學特性 9010.1 實驗部分 9110.1.1 樣品制備 9110.1.2 測試和表征 9110.2 結果和討論 9210.3 本章小結 99第11章 自支撐納米多孔InGaN/GaN MQW的制備及發(fā)光特性 10011.1 實驗部分 10111.1.1 薄膜的外延生長 10111.1.2 薄膜的光電化學刻蝕 10111.1.3 測試和表征 10111.2 結果和討論 10111.3 本章小結 107第12章 具有納米多孔GaN反射鏡的多孔InGaN/GaN MQW的光解水特性 10812.1 實驗部分 10912.1.1 薄膜外延生長 10912.1.2 薄膜的電化學刻蝕 10912.1.3 測試和表征 11012.2 結果和討論 11012.3 本章小結 119參考文獻 120編后記 143彩圖