金屬有機(jī)物氣相外延理論與實(shí)踐（第2版）

定　價(jià)：￥91.00

作　者：	[美] 斯特林費(fèi)洛（Gerald，B.，Stringfellow）著
出版社：	北京大學(xué)出版社
叢編項(xiàng)：	中外物理學(xué)精品書(shū)系
標(biāo)　簽：	化學(xué) 有機(jī)化學(xué) 自然科學(xué)

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ISBN：	9787301275177	出版時(shí)間：	2016-11-01	包裝：	平裝
開(kāi)本：	16開(kāi)	頁(yè)數(shù)：	1072	字?jǐn)?shù)：

內(nèi)容簡(jiǎn)介

　　《金屬有機(jī)物氣相外延——理論與實(shí)踐（第二版）》作為金屬有機(jī)物氣相外延（OMVPE或MOCVD）基礎(chǔ)理論和應(yīng)用實(shí)踐方面的教學(xué)參考書(shū)，適用于材料物理，材料化學(xué)和電子專(zhuān)業(yè)的本科生和研究生。同時(shí)也適合作為OMVPE生產(chǎn)和研發(fā)人員的工具書(shū)。本書(shū)第一章首先總攬了OMVPE的生長(zhǎng)過(guò)程，并和其他的外延工藝做細(xì)致的比較。第二到第六章則分別論述了OMVPE生長(zhǎng)的各個(gè)方面：熱力學(xué)（第二章），表面物理過(guò)程（第三章），反應(yīng)源（第四章），動(dòng)力學(xué)（第五章）以及流體力學(xué)和質(zhì)量輸運(yùn)（第六章）。這些論述不但包括基本的模型論述，還包括主要研究進(jìn)展以及發(fā)展的趨勢(shì)，內(nèi)容豐富。第七章討論了OMVPE生長(zhǎng)過(guò)程的設(shè)計(jì)，包括動(dòng)力學(xué)限制及高溫區(qū)的生長(zhǎng)，同時(shí)也對(duì)整體的OMVPE過(guò)程進(jìn)行設(shè)計(jì)。第八章則介紹了諸如GaAs，InP，GaN等特定的材料。第九章介紹了超晶格結(jié)構(gòu)，第十章則對(duì)OMVPE生長(zhǎng)的器件進(jìn)行了論述。

作者簡(jiǎn)介

暫缺《金屬有機(jī)物氣相外延理論與實(shí)踐（第2版）》作者簡(jiǎn)介

圖書(shū)目錄

第一章　OMVPE方法概述…………………………………………………… １
?。保薄∫浴?１
　１．２　外延技術(shù)的比較…………………………………………………………… ２
?。保场MVPE生長(zhǎng)過(guò)程概述…………………………………………………… ７
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… １４
第二章　熱力學(xué)………………………………………………………………… １６
　２．１　相平衡的熱力學(xué)基礎(chǔ)……………………………………………………… １７
?。玻病∠鄨D………………………………………………………………………… ３４
　２．３　外延生長(zhǎng)的熱力學(xué)驅(qū)動(dòng)力………………………………………………… ６０
?。玻础」虘B(tài)組分………………………………………………………………… ６５
　２．５　四元系……………………………………………………………………… ８１
?。玻丁”砻鏌崃W(xué)……………………………………………………………… ８２
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… ８９
第三章　表面物理過(guò)程………………………………………………………… ９９
　３．１　引言………………………………………………………………………… ９９
?。常病”砻鏈y(cè)量技術(shù)…………………………………………………………… １００
　３．３　表面特性的直接觀測(cè)…………………………………………………… １０５
?。常础≡蛹?jí)生長(zhǎng)過(guò)程………………………………………………………… １０８
　３．５　表面過(guò)程對(duì)OMVPE生長(zhǎng)的影響……………………………………… １２２
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… １２６
第四章　源物質(zhì)………………………………………………………………… １３１
?。矗薄∫浴?１３１
?。矗病I族源…………………………………………………………………… １４０
　４．３　III族有機(jī)源…………………………………………………………… １４１
?。矗础 族有機(jī)源……………………………………………………………… １４７
　４．５　VI族源…………………………………………………………………… １６８
?。矗丁〗饘儆袡C(jī)摻雜源………………………………………………………… １７３
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… １７５
第五章　動(dòng)力學(xué)………………………………………………………………… １８６
　５．１　背景……………………………………………………………………… １８６
　５．２　OMVPE生長(zhǎng)過(guò)程……………………………………………………… １９４
?。担场蜗酂峤夥磻?yīng)…………………………………………………………… １９７
　５．４　多相熱解反應(yīng)…………………………………………………………… ２４０
?。担怠∮行颉?２４６
　參考文獻(xiàn)……………………………………………………………………… ２５２
第六章　流體力學(xué)與質(zhì)量輸運(yùn)……………………………………………… ２６２
　６．１　引言……………………………………………………………………… ２６２
?。叮病MVPE的完全流體力學(xué)處理………………………………………… ２６３
　６．３　邊界層模型……………………………………………………………… ２７１
?。叮础∨P式OMVPE反應(yīng)室近似分析方法…………………………………… ２７２
　６．５　反應(yīng)室設(shè)計(jì)應(yīng)用………………………………………………………… ２７６
　參考文獻(xiàn)……………………………………………………………………… ２７７
第七章　OMVPE生長(zhǎng)過(guò)程設(shè)計(jì)…………………………………………… ２７９
?。罚薄MVPE生長(zhǎng)的綜合模型……………………………………………… ２７９
　７．２　動(dòng)力學(xué)限制的生長(zhǎng)……………………………………………………… ２８２
?。罚场≈械葴囟认滤袣鈮悍秶鷥?nèi)的生長(zhǎng)過(guò)程……………………………… ３０１
　７．４　高溫區(qū)…………………………………………………………………… ３０６
?。罚怠I/VI族化合物的OMVPE生長(zhǎng)……………………………………… ３０７
　７．６　總體工藝過(guò)程設(shè)計(jì)……………………………………………………… ３１５
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… ３３１
第八章　OMVPE生長(zhǎng)的材料……………………………………………… ３４０
?。福薄aAs……………………………………………………………………… ３４０
　８．２　AlGaAs ………………………………………………………………… ３５２
?。福场aInAs,AlInAs和AlGaInAs ………………………………………… ３６０
　８．４　InP ……………………………………………………………………… ３６４
?。福怠aP,GaInP,AlGaInP …………………………………………………… ３７０
　８．６　As/P合金………………………………………………………………… ３７５
?。福贰′R化物及其合金………………………………………………………… ３８０
　８．８　III/V 族氮化物,AlGaInN ……………………………………………… ３９１
?。福埂II/V 族半導(dǎo)體的選區(qū)生長(zhǎng)……………………………………………… ３９８
　８．１０　II/VI族半導(dǎo)體………………………………………………………… ３９９
?。福保薄V 族半導(dǎo)體…………………………………………………………… ４０４
２金屬有機(jī)物氣相外延(第二版)
?。福保病》前雽?dǎo)體材料…………………………………………………………… ４０５
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… ４０８
第九章　超晶格………………………………………………………………… ４２６
?。梗薄lGaAs/GaAs…………………………………………………………… ４２９
　９．２　GaInAs/InP ……………………………………………………………… ４３４
?。梗场lGaInP/GaInP ………………………………………………………… ４３８
　９．４　GaInAs/GaAs …………………………………………………………… ４４０
?。梗怠lGaInN ………………………………………………………………… ４４３
　９．６　應(yīng)變層超晶格…………………………………………………………… ４４４
?。梗贰i襯底上的GaAs ……………………………………………………… ４４５
　９．８　SiGe合金………………………………………………………………… ４４６
?。梗埂I/VI化合物……………………………………………………………… ４４７
　９．１０　摻雜超晶格……………………………………………………………… ４４９
?。梗保薄≡訉油庋?ALE)……………………………………………………… ４５０
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… ４５４
第十章　器件…………………………………………………………………… ４６２
　１０．１　注入式激光器和LED ………………………………………………… ４６３
?。保埃病」怆姸O管……………………………………………………………… ４７９
　１０．３　電子開(kāi)關(guān)器件…………………………………………………………… ４８１
?。保埃础√?yáng)能電池……………………………………………………………… ４８６
　１０．５　總結(jié)……………………………………………………………………… ４８８
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… ４８８
文中縮略語(yǔ)……………………………………………………………………… ４９７
金屬有機(jī)源分子符號(hào)………………………………………………………… ５００
索引……………………………………………………………………………… ５０２