微納傳感器及其應(yīng)用

第一章 MEMS概論
1.1 MEMS的定義
1.2 MEMS的基礎(chǔ)理論
1.2.1 微機械常用材料
1.2.2 微機械的固體力學(xué)問題
1.2.3 微機械的工作原理
1.2.4 微構(gòu)造特性
1.3 MEMS的制造技術(shù)
1.3.1 微電子加工工藝
1.3.2 精密加工
1.3.3 特種加工
1.4 MEMS技術(shù)的應(yīng)用
1.4.1 MEMS傳感器的應(yīng)用
1.4.2 射頻MEMS器件的應(yīng)用
1.4.3 生物MEMS的應(yīng)用
1.4.4 光學(xué)MEMS的應(yīng)用
1.5 MEMS的發(fā)展前景
習(xí)題
參考文獻
第二章 機械微傳感器的應(yīng)用
2.1 位移微傳感器
2.1.1 基本概念
2.1.2 電容和電感式位移微傳感器
2.1.3 光學(xué)位移微傳感器
2.1.4 超聲波位移微傳感器
2.2 速度和流速微傳感器
2.2.1 基本概念
2.2.2 熱電式流速微傳感器
2.2.3 電容式流量微傳感器
2.2.4 壓阻式流量微傳感器
2.2.5 共振橋式流量微傳感器
2.3 微型加速度計
2.3.1 基本概念
2.3.2 壓阻式微加速度計
2.3.3 壓電式微加速度傳感器
2.4 力、壓強和應(yīng)變微傳感器
2.4.1 基本概念
2.4.2 力微傳感器
2.4.3 應(yīng)力敏感的電子器件
2.4.4 硅微壓強傳感器
2.4.5 電阻式應(yīng)變微傳感器
2.5 質(zhì)量微傳感器
2.5.1 基本概念
2.5.2 壓電式質(zhì)量微傳感器
2.5.3 表面聲波諧振傳感器
習(xí)題
參考文獻
第三章 熱微傳感器的應(yīng)用
3.1 熱機械傳感器
3.2 熱敏電阻
3.2.1 熱阻效應(yīng)
3.2.2 金屬熱敏電阻
3.2.3 半導(dǎo)體熱敏電阻
3.3 熱二極管
3.3.1 基本原理
3.3.2 集成的熱二極管
3.4 熱晶體管
3.4.1 基本原理
3.4.2 集成的熱晶體管
3.5 熱電偶
3.6 其他電測量熱微傳感器
3.6.1 熱開關(guān)
3.6.2 微熱量計
3.7 其他非電測量熱微傳感器
3.7.1 溫度計
3.7.2 溫度指示器和光纖傳感器
3.7.3 表面聲波溫度微傳感器
習(xí)題
參考文獻
第四章 磁微傳感器的應(yīng)用
4.1 霍爾效應(yīng)器件
4.1.1 霍爾效應(yīng)
4.1.2 霍爾器件的工作原理
4.1.3 半導(dǎo)體中的霍爾效應(yīng)
4.1.4 霍爾傳感器
4.2 磁阻效應(yīng)器件
4.2.1 磁阻效應(yīng)
4.2.2 磁阻器件
4.2.3 磁阻傳感器的應(yīng)用舉例
4.3 磁敏二極管和磁敏三極管
4.3.1 磁敏二極管
4.3.2 磁敏三極管
4.4 磁通門微磁強計
4.4.1 磁通門微磁強計的結(jié)構(gòu)
4.4.2 磁通門微磁強計的原理
4.4.3 磁通門微磁強計的應(yīng)用
4.5 隧道效應(yīng)磁強計
4.5.1 隧道效應(yīng)磁強計的結(jié)構(gòu)
4.5.2 隧道效應(yīng)磁強計的原理
4.5.3 隧道效應(yīng)磁強計的性能參數(shù)
4.6 超導(dǎo)量子干涉磁強計
4.6.1 約瑟夫森效應(yīng)
4.6.2 磁場對直流約瑟夫森效應(yīng)的影響
4.6.3 SQUID器件
習(xí)題
參考文獻
第五章 光學(xué)微傳感器與輻射微傳感器應(yīng)用
5.1 光學(xué)微傳感器
5.1.1 光學(xué)微傳感器的主要性能參數(shù)
5.1.2 直接型光學(xué)傳感器
5.1.3 光敏電阻傳感器
5.1.4 間接光學(xué)微傳感器
5.2 輻射微傳感器
5.2.1 輻射粒子
5.2.2 光譜
5.2.3 核輻射傳感器
習(xí)題
參考文獻
第六章 化學(xué)微傳感器與生物微傳感器的應(yīng)用
6.1 化學(xué)微傳感器
6.1.1 離子敏傳感器
6.1.2 氣敏傳感器
6.1.3 濕敏傳感器
6.2 生物微傳感器
6.2.1 酶傳感器
6.2.2 微生物傳感器
6.2.3 組織傳感器
6.2.4 細胞傳感器
6.2.5 免疫傳感器
6.2.6 基因芯片
習(xí)題
參考文獻
第七章 聲波微傳感器的應(yīng)用
7.1 聲波微傳感器概述
7.1.1 聲波技術(shù)和壓電效應(yīng)
7.1.2 聲波的傳播
7.1.3 聲波的探測
7.2 體聲波微傳感器
7.2.1 TSM諧振器
7.2.2 SH-APM傳感器
7.3 表面聲波微傳感器
7.3.1 表面聲波的類型
7.3.2 表面聲波的激發(fā)
7.3.3 基本的SAW器件
7.3.4 SAW傳感器的測量原理
習(xí)題
參考文獻
第八章 微納傳感器應(yīng)用實例
8.1 基于手勢識別的多功能電子鑰匙
8.1.1 項目介紹
8.1.2 項目原理
8.1.3 項目設(shè)計方案
8.2 基于地磁傳感器的數(shù)字指南針
8.2.1 項目介紹
8.2.2 項目原理
8.2.3 項目設(shè)計方案
8.2.4 項目優(yōu)點
8.3 新型寵物伴侶
8.3.1 項目背景
8.3.2 設(shè)計方案
8.3.3 系統(tǒng)設(shè)計
8.3.4 軟件方案
8.3.5 系統(tǒng)測試
8.3.6 市場前景展望
8.4 電子便攜導(dǎo)盲棒
8.4.1 項目介紹
8.4.2 項目原理
8.4.3 項目設(shè)計方案
8.4.4 市場展望
8.5 多功能水蒸發(fā)器
8.5.1 項目介紹
8.5.2 項目原理
8.5.3 項目設(shè)計方案
8.5.4 市場調(diào)查分析
習(xí)題
參考文獻
附錄A 美新產(chǎn)品
A.1 美新加速度傳感器
A.2 美新磁傳感器——MMC212xMG
A.3 美新流量傳感器——MFC001
附錄B 敏芯產(chǎn)品
B.1 敏芯微電子壓力傳感器——MSPA15A
B.2 敏芯微電子硅麥克風(fēng)聲學(xué)傳感器——MSMAS42Z
附錄C 微電子學(xué)常用詞及縮略語