微機電系統(tǒng)與微細加工技術(shù)

定　價：￥30.00

作　者：	朱荻、云乃彰、汪煒、曲寧松
出版社：	哈爾濱工程大學(xué)出版社
叢編項：	國防科工委十五規(guī)劃教材
標　簽：	微電機

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ISBN：	9787811332384	出版時間：	2008-01-01	包裝：	平裝
開本：	16開	頁數(shù)：	227	字數(shù)：

內(nèi)容簡介

　　《國防科工委“十五”規(guī)劃教材：微機電系統(tǒng)與微細加工技術(shù)》共分五章，包括微機電系統(tǒng)和微細加工技術(shù)的發(fā)展趨勢，對微機電系統(tǒng)原理和設(shè)計、微細加工技術(shù)、相關(guān)的檢測技術(shù)以及微機電系統(tǒng)的應(yīng)用等內(nèi)容進行了介紹和討論?！段C電系統(tǒng)與微細加工技術(shù)》可作為機械工程類或其他工程類本科生、研究生課程的教材，也可以作為其他有關(guān)技術(shù)人員了解微機電系統(tǒng)與微制造技術(shù)的參考書籍。

作者簡介

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圖書目錄

1 緒論
1.1 微機電系統(tǒng)與微型化
1.2 微型化韻基礎(chǔ)——微細制造
2 微機電系統(tǒng)組成原理及設(shè)計
2.1 微機電系統(tǒng)的組成和工作原理
2.2 微尺度理論基礎(chǔ)
2.3 計算機輔助設(shè)計
習題
3 微細加工技術(shù)
3.1 硅微細加工
3.2 UGA技術(shù)
3.3 微細電火花加工
3.4 微細電鑄
3.5 微細電解加工
3.6 微細高能柬流加工
習題
4 微機電系統(tǒng)的檢測
4.1 MEMS器件的幾何量測量
4.2 力學(xué)性能測試
習題
5 微機電系統(tǒng)的應(yīng)用
5.1 微機電系統(tǒng)的軍事應(yīng)用
5.2 微機電系統(tǒng)在民用工業(yè)中的應(yīng)用
習題
參考文獻