微系統(tǒng)自動化裝配技術

第1章 微系統(tǒng)裝配技術概述
　1.1 概述
　　1.1.1 微機電系統(tǒng)（MEMS）概述
　　1.1.2 微裝配（Micro Assembly）系統(tǒng)概述
　1.2 微系統(tǒng)裝配技術
　　1.2.1 微裝配發(fā)展階段
　　1.2.2 微裝配方法
　　1.2.3 微裝配分類
　1.3 微裝配系統(tǒng)的組成、功能及特點
　　1.3.1 系統(tǒng)組成
　　1.3.2 系統(tǒng)特點
　　1.3.3 系統(tǒng)功能
　1.4 微系統(tǒng)裝配發(fā)展方向
第2章 微夾持驅(qū)動與操作技術
　2.1 微夾持驅(qū)動與操作技術概述
　　2.1.1 微夾持技術概況
　　2.1.2 微夾持器類型
　2.2 微夾持驅(qū)動技術
　　2.2.1 靜電驅(qū)動
　　2.2.2 熱驅(qū)動
　　2.2.3 電磁驅(qū)動
　　2.2.4 壓電驅(qū)動
　　2.2.5 超磁致伸縮驅(qū)動
　2.3 微操作技術
　　2.3.1 微操作技術概述
　　2.3.2 微操作的特點
　　2.3.3 微操作黏附現(xiàn)象
　　2.3.4 人―機交互微操作環(huán)境
　　2.3.5 典型微操作技術及應用
　2.4 微夾持器的設計與實踐
　　2.4.1 微夾持器總體方案
　　2.4.2 微夾持器的結(jié)構(gòu)設計
　　2.4.3 微夾持器加工工藝設計
　　2.4.4 微夾持特性分析與仿真
第3章 微系統(tǒng)裝配視覺技術
3.1 視覺技術概述
3.1.1 基本原理
3.1.2 視覺系統(tǒng)的組成
3.2 視覺系統(tǒng)功能與實現(xiàn)
3.2.1 系統(tǒng)功能
3.2.2 視覺實現(xiàn)
3.3 圖像處理技術
3.3.1 圖像預處理
3.3.2 邊緣檢測
3.3.3 目標識別
3.3.4 圖像特征跟蹤
3.4 自動調(diào)焦技術
3.4.1 自動調(diào)焦原理與方法
3.4.2 圖像處理法自動調(diào)焦
3.4.3 微裝配自動調(diào)焦實現(xiàn)
3.5 深度信息提取
3.6 視覺技術的應用
3.6.1 典型微裝配視覺系統(tǒng)
3.6.2 發(fā)展趨勢
第4章 微系統(tǒng)裝配控制技術
4.1 概述
4.2 控制技術
4.2.1 虛擬現(xiàn)實技術
4.2.2 視覺伺服控制技術
4.2.3 過程仿真
4.2.4 人-機交互技術
4.3 典型應用
4.3.1 基于微機器人的微裝配系統(tǒng)FMMS
4.3.2 基于視覺伺服的微裝配系統(tǒng)
第5章 微型機器人技術
5.1 微型機器人概述
5.1.1 概述
5.1.2 系統(tǒng)分類
5.1.3 系統(tǒng)組成
5.2 微型機器人驅(qū)動技術
5.2.1 驅(qū)動方法概述
5.2.2 壓電微電機驅(qū)動
5.2.3 電磁微電機驅(qū)動
5.2.4 磁致伸縮驅(qū)動
5.3 微機器人裝配發(fā)展趨勢及典型應用
5.3.1 發(fā)展趨勢
5.3.2 典型應用
第6章 微/納自組裝技術
6.1 微納自組裝概述
6.1.1 基本原理
6.1.2 系統(tǒng)特點
6.2 自組裝概念與原理
6.2.1 自組裝概念
6.2.2 自組裝分類及原理
6.3 微納系統(tǒng)自組裝技術
6.3.1 納米技術的發(fā)展
6.3.2 MEMS中的自組裝技術
6.4 自組裝的典型應用及發(fā)展趨勢
6.4.1 制造納米機械器件
6.4.2 用自組裝進行微器件裝配
6.4.3 自組裝的發(fā)展趨勢
第7章 微系統(tǒng)裝配設計與實踐
7.1 系統(tǒng)總體設計
7.1.1 系統(tǒng)組成
7.1.2 系統(tǒng)模塊
7.1.3 系統(tǒng)建模
　7.2 微動工作臺設計
7.2.1 結(jié)構(gòu)組成
7.2.2 驅(qū)動器設計
7.2.3 柔性機構(gòu)的設計
　7.3 驅(qū)動控制系統(tǒng)
7.3.1 驅(qū)動系統(tǒng)
7.3.2 控制系統(tǒng)
　7.4 系統(tǒng)裝配實驗
7.4.1 系統(tǒng)標定
7.4.2 實驗結(jié)果與分析
參考文獻