半導體生產凈化技術：高純水的制造及廢水、廢氣的處理

　　本書介紹了半導體生產中大量使用的洗滌用水-高純水的制備方法、純度測試及高純水系統(tǒng)的設計，介紹了從半導體工廠排放出來的廢水及有害氣體的情況及其處理方法。

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