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半導(dǎo)體生產(chǎn)凈化技術(shù)：高純水的制造及廢水、廢氣的處理

半導(dǎo)體生產(chǎn)凈化技術(shù)：高純水的制造及廢水、廢氣的處理

定　價：￥2.00

作　者： 趙玉瑋，陳美智編譯
出版社： 科學(xué)出版社
叢編項：
標(biāo)　簽： 半導(dǎo)體工藝
ISBN： 9787030000040 出版時間： 1987-01-01 包裝：
開本： 19cm 頁數(shù)： 254頁 字?jǐn)?shù)：  

內(nèi)容簡介

　　本書介紹了半導(dǎo)體生產(chǎn)中大量使用的洗滌用水-高純水的制備方法、純度測試及高純水系統(tǒng)的設(shè)計，介紹了從半導(dǎo)體工廠排放出來的廢水及有害氣體的情況及其處理方法。

作者簡介

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