電子工業(yè)生產技術手冊（8 半導體與集成電路卷）

　　本書共16章。闡述了化合物半導體器件及集成電路的清洗與腐蝕、外延、離子注入通用工藝，同時介紹了包括微波及毫米波二端器件、場效應器件的設計與制造與可靠性，及新器件和集成技術。

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