等離子體與成膜基礎(chǔ)

定　價：￥11.40

作　者：	（日）小沼光晴著；張光華編譯
出版社：	國防工業(yè)出版社
叢編項：
標(biāo)　簽：	等離子體物理學(xué)∶薄膜物理學(xué) 薄膜物理學(xué)∶等離子體物理學(xué)

ISBN：	9787118011418	出版時間：	1994-06-01	包裝：
開本：	19cm	頁數(shù)：	238頁	字?jǐn)?shù)：

　　分：等離子體的概念和狀態(tài)、低溫等離子體與成膜、非晶硅薄膜的高速沉積等9章。

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