本書從統(tǒng)一的角度論述了應用于電子束器件、電子顯微學、質譜學、微分析與表面分析、微電子工藝技術、加速器與核科學技術及電子束工藝技術等方面的現代電子光學(帶電粒子光學)的共有的理論基礎、分析方法與主要的最新進展。本書包括電子運動的質點動力學基礎,電場與磁場研究,旋轉對稱系統(tǒng),直軸多極場系統(tǒng),電子束流的傳輸,束電流密度分布的演化,波動電子光學基礎,掃描偏轉系統(tǒng),曲光軸系統(tǒng)與偏轉分析器,自旋極化電子光學初步,飛行時間分析器與運動穩(wěn)定性分析器等內容。 本書適用于物理電子學與光電子學、電子物理與離子束物理、真空物理、加速器與實驗核物理技術、光電成象技術等專業(yè)的碩士與博士生使用,也可供上述領域與專業(yè)的科研人員、工程師、教師與高年級本科生參考。