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微機電系統(tǒng)及其相關技術

微機電系統(tǒng)及其相關技術

定　價：￥15.00

作　者： 章吉良，楊春生編著
出版社： 上海交通大學出版社
叢編項：
標　簽： 機電系統(tǒng)，微型

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ISBN： 9787313023070 出版時間： 1999-01-01 包裝：
開本： 26cm 頁數(shù)： 163頁 字數(shù)：  

內(nèi)容簡介

　　本書介紹了微機電系統(tǒng)概論；高深寬比微加工技術；微傳感器與微執(zhí)行器；鍵合技術；微機電系統(tǒng)的相關電路及應用實例等。

作者簡介

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