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微機(jī)電系統(tǒng)及其相關(guān)技術(shù)

微機(jī)電系統(tǒng)及其相關(guān)技術(shù)

定 價(jià):¥15.00

作 者: 章吉良,楊春生編著
出版社: 上海交通大學(xué)出版社
叢編項(xiàng):
標(biāo) 簽: 機(jī)電系統(tǒng),微型

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ISBN: 9787313023070 出版時(shí)間: 1999-01-01 包裝:
開本: 26cm 頁(yè)數(shù): 163頁(yè) 字?jǐn)?shù):  

內(nèi)容簡(jiǎn)介

  本書介紹了微機(jī)電系統(tǒng)概論;高深寬比微加工技術(shù);微傳感器與微執(zhí)行器;鍵合技術(shù);微機(jī)電系統(tǒng)的相關(guān)電路及應(yīng)用實(shí)例等。

作者簡(jiǎn)介

暫缺《微機(jī)電系統(tǒng)及其相關(guān)技術(shù)》作者簡(jiǎn)介

圖書目錄

暫缺《微機(jī)電系統(tǒng)及其相關(guān)技術(shù)》目錄

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